Hlavní stránka > Výsledky hledání: keywords:"Al thin film"
Hledej:
Tipy pro vyhledávaní :: Rozšířené hledání
Hledej ve sbírkách:
Seřadit podle: Zobrazit výsledky: Výstupní formát:
Národní úložiště šedé literatury Nalezeno 2 záznamů.  Hledání trvalo 0.00 vteřin. 
Mechanical properties of Al thin films measured by microcompression
 Kuběna, Ivo ; Kruml, Tomáš
Two modern experimental techniques, the focused ion beam milling and the nanoindentation, were applied in order to measure exactly plastic properties of a Al-1.5%Cu thin film prepared by the physical vapour deposition, used for electrical connection of integrated circuits. By focused ion beam milling, cylindrical specimens were prepared. The height of the specimens was equal to the film thickness (2 micrometers) and their diameter was about 1.3 micrometers. These specimens were subjected to the compressive loading using the nanoindenter equipped by a flat punch. It is possible to obtain stress-strain curves of the thin film rather precisely.
Úplný záznam
Měření mechanických vlastností tenkých vrstev pomocí nanokomprese
 Kuběna, Ivo ; Kruml, Tomáš ; Hutař, Pavel ; Boháč, Petr ; Stranyánek, Martin ; Čtvrtlík, Radim ; Pánek, P. ; Vystavěl, T.
Technikou fokusovaných iontových byly připraveny malé kompresní válcové vzorky z tenké vrstvy Al-1.5%Cu. Tyto vzorky byly deformovány v kompresi s použitím nanoindentoru a plochého diamantového hrotu. Byly tak získány závislosti napětí-deformace s poměrně vysokou přesností.
Úplný záznam

Chcete být upozorněni, pokud se objeví nové záznamy odpovídající tomuto dotazu?
Přihlásit se k odběru RSS.
Digitální repozitář :: Hledej :: Nový záznam :: Personalizace :: Nápověda
Powered by Invenio v1.1.2
Spravuje admin.invenio@techlib.cz
Tato stránka je dostupná také v následujících jazycích:
Česky  English